102所已经向asml提供了技术指标，而斯科蒂虽不相信，但还是按照程序来检测。

一块直径10cm的圆形平板透镜，可以展现102所的加工技术。

斯科蒂说：“张先生，伱们提供的技术指标是平面误差在50纳米以内，在这里，很容易就知道能不能达到这个技术指标。”

假设将这块石英平面放大到地球那么大，而这个误差相当于平面上一个乒乓球大小的凸起。

卡尔蔡司技术经理苏瑞·克鲁斯摇摇头，即便是卡尔蔡司也做到如此程度的精度，华国人要么在说谎，要么，他们已经找到最新的打磨技术……

苏瑞说的没错，离子束打磨技术在这个时候也才是刚起步，在精密打磨上面，确实可以将精度提升一个数量级，比起卡尔蔡司普遍使用的磁流体打磨，可控的精度更高……

镜片的检测要简单的很多，跟很多微结构需要电子显微镜来观测不一样，镜片的检测只需要一簇激光扫描整个平面，同过光的反射，可以将表面的瑕疵放大上万倍。

很快，助手肖莱玛拿着检测报告，一路说着上帝，难以置信，一边把报告递到斯科蒂手上。

“他们做到了……”

苏瑞看着报告，亦是摇摇头。

“华国在打磨镜片上面的技术超越了卡尔蔡司？”他摇摇头，很不明白。

“为什么华国的军方还向卡尔蔡司求购光学瞄准镜?”

而此时激光研究室高级技术员珍尼·欧嘉纳斯也走过来，向斯科蒂递交了关于华国氟化氪激光器的报告。

斯科蒂看了每一项数据，光阑，光束整形及光束诊断大小阈值，脉冲稳定等数据一流，但更让他觉得不以思议的是，华国的氟化氪激光机的功率可以达到36kw，而美国西盟科技提供的激光器功率只有18kw，这已经是欧美的最高水平了。

而日本人可以把激光器做到20kw。

芯片生产的商业化，效率优先，光刻过程中，激光的功率越高，曝光的效率越高，功率足够的话，一个激光脉冲就可以完成光刻过程，而功率不够，则需要两个，甚至三个激光脉冲。

虽然一个脉冲只有几微秒，而一块晶圆上有成千上万个芯片，累积起来时间就可观了。

斯科蒂很快觉察到，要是将华国的激光器用在asml的光刻机上，asml的光刻机将在与日本尼康、佳能的竞争中获得优势。

至于美国的西盟科技，只有被抛弃的命运了……

斯科蒂在第一时间打电话给asml总裁维克多·雷泽诺夫先生。

斯科蒂说：“他们的数据很真实，华国在激光器和透镜上面，已经超越了我们，维克多总裁，我们需要华国的技术……”

“……”

维克多摇摇头，没有说话，一个很实现的问题，在惠生国际提出华国提供技术的时候，asml的董事会已经讨论过了，因为246纳米光刻机在巴统对华禁售的目录里。

但除了惠生国际的代表，其余所有人都不认为华国的激光器与透镜能赶上欧美，事实上大家都是嘴上支持，到时候卖点pa3000，pa2000这些老掉牙的光刻机意思一下罢了。

他苦笑道：“如果华国提供了246纳米光刻机的关键技术，而他们却不能买asml的246纳米光刻机，你说他们还会愿意提供这些技术吗？”

“……”

斯科蒂摇摇头说：“他们解决了激光器，解决了透镜，这离他们制造出246纳米光刻机还有多远?维克多先生，该跟那些老爷们说说，现在的形势变了……”

(本章完)