返回第86章 顶级材料专家也无解?  八零:截胡娇妻,奖励光刻机首页

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“把那块硅片取下来,给我。”

沈永华不知何时走到了他们身后。他没有看眾人,眼睛就盯著屏幕上的“麻点”。

张伟小心翼翼地取出硅片,递了过去。沈永华接过,转身就朝自己那片“宝地”走去:“都跟我来。”

他將硅片固定在一台崭新的扫描电子显微镜(sem)的工作檯上,开始抽真空。这台电镜,是他从京城某研究所软磨硬泡“借”来的宝贝,也是整个实验室最精密的眼睛。

很快,显示器上出现了放大一万倍的图像。

在那个微观世界里,所有人都倒吸了一口凉气。

原本屏幕上只是模糊的“麻点”,此刻变成了清晰可怖的“陨石坑”!每一个坑洞的中心,都有一个极其微小的、发出不同亮光的颗粒物。

“看到了吗?”沈永华指著屏幕,“这不是化学腐蚀,这是物理轰击!是等离子体在刻蚀过程中发生了『辉光放电』,把你们那个『z』合金內衬腔体里的金属原子,像炮弹一样打了出来,砸在了硅片上!”

他切换到能谱分析模式,一条条谱线跳出。

“看到了吗?这些亮点,成分是『z』合金里的铬和镍!你们的光刻胶是完美的,但你们的机器,在杀掉你们的晶片!”

沈永华的分析,劈开了所有的迷雾。问题不是出在软体(化学品)上,而是出在硬体(机器)最核心的运行机制上!

林为民教授喃喃道:“等离子体辉光放电……这是因为腔体內的电场不均匀,或者气压出现了瞬时波动……”

“是的。”付成终於开口了,他的眼神无比锐利,仿佛已经看到了那头失控的野兽。

“沈教授为我们找到了病根。这台机器,我们用尽了办法去改装它的身体,但它的『神经系统』太老旧了。它无法感知到万分之一秒內电场的变化,也无法察觉到千分之一帕的气压脉动。这些我们根本检测不到的微小波动,在微观世界里,就是一场场灾难性的风暴。”

“那……那该怎么办?”张伟焦急地问。

“给它换一套现代化的『神经系统』。”付成转身,走到白板前,写下几个词。

“高精度压力传感器,响应速度要达到毫秒级。”

“精密温度计,能监测0.01度的腔体温度变化。”

“还有,一个能连接这一切,並进行实时运算和调整的计算机控制单元。”

“这……”张伟喃喃道,“这简直就是……自动化工业的顶配了。”

“国內现在,有这样的设备吗?”钱立人教授问。

付成沉默了片刻,脑海里闪过系统资料库中的信息。

“现成的,没有。但有一个地方,一定能找到我们需要的东西,或者找到能提供这些东西的人。”

他转过身,目光扫过每一个人,最后重重地说道:

“香江。那里的电子展,马上就要开始了。”

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